顯微課堂 - 對微粒污染進行清潔度分析
很多行業所制造的設備⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓、產品及其部件對污染都是極其敏感的웃유ღ♋♂，它們對于清潔度有著非常嚴格的要求♀☿☼☀☁☂☄。因此♀☿☼☀☁☂☄，人們追求具備自動顆粒分析功能的測量系統♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃，對產品和部件的清潔度進行定量檢驗웃유ღ♋♂，從而滿足汽車制造業⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓、航空⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤、微電子⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺、制藥和醫療設備等行業的要求ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ。
顆粒是主要污染物：工業領域對清潔度提出要求
針對交通運輸（汽車/卡車웃유ღ♋♂、航空/航天ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ、鐵路）♀☿☼☀☁☂☄、微電子（集成電路❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣、印刷電路板❣❦❧♡۵、半導體）⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，以及醫療衛生（制藥和醫療設備）等行業所生產的污染敏感型產品及其部件①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，為提高其性能☾☽❄☃、可靠性并延長使用壽命❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，人們對這些產品及其部件的清潔度提出了非常嚴苛的要求☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；。
污染類型及其產生的過程
污染存在幾種基本類型 ：
微粒污染
無生命或無機物⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺，包括制造過程產生的殘留物ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，例如웃유ღ♋♂，磨損或研磨產生的顆粒物㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，以及當地大氣中的灰塵❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，或者有生命或有機物ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ，包括細菌✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥、*☈⊙☉℃℉❅、孢子ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ、蛻皮的鱗片或細胞碎片
分子污染
無生命或無機膜⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，包括制造期間添加劑中的殘留物⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓，例如✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，低溫潤滑劑或防腐劑①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，或者指紋ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ。
（a)
(b)
（c）
（d）
(e)
( f )
不同類型污染的圖像：a) 生產過程中產生的殘留物ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ；b) 灰塵☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；；c) 孢子❣❦❧♡۵；d) 細菌❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣；e) 無機或有機膜ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ；以及 f) 指紋⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺。
探討微粒污染ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ，旨在確定清潔度水平⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，以及檢驗顆粒清潔效果⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯。
影響產品及其部件清潔度的因素
人員웃유ღ♋♂、物流ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ、耗材和工藝
對生產具有清潔度要求的產品及其部件的生產商來說⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，存在特定的因素會對產品的清潔度造成影響ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ。這些因素包括用于生產的潔凈室計數♀☿☼☀☁☂☄、物流的設計和規劃웃유ღ♋♂、員工的行為웃유ღ♋♂，以及生產所用的設備♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃、材料和工藝的類型
清潔系統的效果
問題來了：清潔系統如何發揮作用呢☈⊙☉℃℉❅？遺憾的是☾☽❄☃，這個問題并沒有統一答案❣❦❧♡۵。清潔系統所達到的清潔度水平取決于三個主要因素（參見圖 3 示意圖）：
●清潔方法或工藝웃유ღ♋♂；
●污染的類型和程度⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤；
●必須清潔的物件屬性❣❦❧♡۵；及其材質㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉、形狀和表面狀況（粗糙度等）⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓。
在清潔程度應視具體情況而定的情況下⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺，例如ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ，該領域或行業的慣例存在疑問❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，或者應客戶或用戶的特別要求☾☽❄☃，必須檢驗清潔效果㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉。
方法和規程
確定產品清潔度
清潔度和清潔工藝評估
在產品部件接受清潔工藝的前后웃유ღ♋♂，對微粒污染進行清潔度評估ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ，可以選用以下兩種方法完成該項作業：直接法或間接法 [1]✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅。
直接法包括對表面進行直接檢測①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，無需提取或轉移顆粒物❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，一般采用光學或電子顯微鏡技術完成檢測❣❦❧♡۵。直接分析的優勢是不會損失樣品⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，無需進行提取操作♀☿☼☀☁☂☄。但是✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，這種方法也存在劣勢웃유ღ♋♂，即只有反差充分的顆粒♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃，才能輕松地從基質中分辨出來⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，而且對結構復雜的部件并不實用ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ。
間接法包括從正在接受檢測的表面提取或轉移顆粒☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，一般在液體或氣體介質中完成分離ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ，脫附㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，隨后利用分析系統進行評估☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；。間接法的優勢是♀☿☼☀☁☂☄，對結構復雜的部件非常實用♀☿☼☀☁☂☄，并可以檢查整個部件⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，但劣勢是提取步驟期間會產生顆粒損失⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓，提取工藝會導致成本增加⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，而且操作期間還必須保證非常潔凈的工作條件웃유ღ♋♂，以免交叉污染①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯。
●針對交通運輸業的清潔度分析⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ；VDA 第 19 部分ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ，以及 ISO 16232
●針對汽車制造業☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，業內已經形成了一項慣例：即遵守 VDA 19 [3] 和 ISO 16232 [4] 對產品零部件微粒污染定量測定的相關規定❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。采用不同的提取法可以清除部件表面的顆粒污染⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓，例如①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，*聲波降解㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉、壓力沖洗♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃、功能測試臺①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯、攪動①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，隨后轉移到膜過濾器上❣❦❧♡۵，例如⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，通過過濾提取液將其轉移到膜過濾器上㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦。在分析階段⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，根據粒徑大小和材質屬性㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，采用不同的技術來評估顆粒❣❦❧♡۵，例如①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，光學顯微鏡☈⊙☉℃℉❅、掃描電子顯微鏡 (SEM)ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ，或 X 射線能量色散譜 (EDS)♀☿☼☀☁☂☄。清潔度分析的步驟如圖 4 所示ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ。顆粒分析技術對比參見圖 5☾☽❄☃。
針對顆粒分析的圖像產生方法：信息量和先決條件
如果采用圖像產生方法進行顆粒分析웃유ღ♋♂，那么❣❦❧♡۵，光學顯微鏡技術無疑是使用*普遍的技術ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ。為滿足清潔度檢測方面的要求♀☿☼☀☁☂☄，相比其他方法❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，光學顯微鏡是成本*低且分析速度*快的儀器之一ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ。SEM/EDS 通常用于深度研究①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，例如❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，成因研究ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ，這類研究需要更詳細的數據信息㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，例如ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ，顆粒的元素組成⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯。
在顆粒檢測方面⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，顯微鏡的光學分辨率是限制因素㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂。光學系統本身無法分辨顆粒웃유ღ♋♂，因為它的尺寸低于分辨率閾值✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，所以無法識別顆粒的細節部分❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。物鏡透鏡的分辨率 (R) 取決于照射樣品的光波長 (λ) 和透鏡 (NA = n·sinα) 的數值孔徑：
其中⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，n 是物鏡透鏡所浸入的介質折射率⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，α是進/出物鏡透鏡*大光錐的半角（參見圖 6）[5]☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；。
為精確檢測顆粒㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，膜濾光片背景相對的顆粒亮度反差必須充分滿足檢測的需要⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺。一旦通過明確的灰度值設定閾值后☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，即可通過二值化對圖像中記錄的顆粒進行分析（參見圖 7）ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ。舉個極端的示例：如果白色背景上的顆粒也是白色的❣❦❧♡۵，就難以查找用于識別顆粒的灰度值⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，因而也就無法執行自動分析了❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。
圖 7a–c：(a) 過濾器上顆粒的光學顯微鏡圖像웃유ღ♋♂，(b) 橘/紅色突出顯示的斑點❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，灰度值低于設定閾值⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，展示檢測到的圖像顆粒區域⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓。以下圖像為顯示像素數和灰度值關系的柱狀圖 (c)☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，灰度級如下所示㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂。柱狀圖的高峰值與濾光片背景灰度值相對應㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦。灰度值（左側）低于二值化閾值（紅線）的圖像所有區域將被記錄為顆粒ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ。
應用示例
通過 Leica DM2700 M 復式顯微鏡和 Leica Cleanliness Expert 軟件使用 Leica Cleanliness Expert 系統完成顆粒分析⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，該系統能夠實現可靠檢測和分析的*小粒徑為 5 μm⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓。
監測當地環境中的顆粒沉積現象
很多污染敏感產品對生產環境的要求非常高㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，此類產品必須在達到一定空氣清潔度的潔凈室中生產⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯。僅通過粒子計數器監測大氣塵埃粒子ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，無法對當地環境中的顆粒沉積水平作出明確定論ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ。顆粒的來源多種多樣⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，通常與人員/員工㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉、物流作業流程❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰、包裝☈⊙☉℃℉❅、耗材以及生產過程密切相關㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂。將 10 塊沉降板放在關鍵過程位置ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ，以便對清潔生產環境中的沉積物污染進行量化❣❦❧♡۵。沉降板會將沉積物顆粒收集在膠帶上☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；。沉降板經過七天暴露后✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，可以用一臺光學顯微鏡進行評估⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ。
圖 8 顯示了 10 塊沉降板的顆粒分析結果⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯。圖 8 的圖表清楚地展示了測量位置的顆粒計數較高㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦。通過不同部分進行額外分類ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ，例如㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，形態或反光度㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，從而確保清楚辨別纖維和反光顆粒物❣❦❧♡۵。
可能引起損壞的顆粒表征
針對汽車制造業的很多產品部件웃유ღ♋♂，也存在諸多微粒污染相關的要求웃유ღ♋♂。根據部件的不同☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，有些顆粒可能是關鍵的✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，可能會引起損傷✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴。在很多情況下☈⊙☉℃℉❅，甚至還要進行其他測試①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，以便系統性地檢測粒徑不同顆粒所造成的損壞⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤。針對這些測試ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ，還需要盡可能設定具有適度明確形態的顆粒✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴。為對上述顆粒進行表征☾☽❄☃，通過自動軟件分析和其他手動分析檢測長度和寬度ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，從而對顆粒進行高度測定♀☿☼☀☁☂☄。針對高度測定㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，人們研發了一臺配備物鏡透鏡（帶低景深）的光學顯微鏡⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤。聚焦濾光片背景中的一個點⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，隨后聚焦顆粒的*高點ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ，可以根據 z 值差異檢測顆粒高度♀☿☼☀☁☂☄。
圖 9 展示了通過上述分析獲得的標準化顆粒表征結果㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂。
清潔法功效
未清潔和已清潔部件的對比
通過對比未清潔和已清潔部件的清潔度分析結果⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，對清潔法功效進行檢測㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，未清潔和已清潔部件都必須采用間接檢驗工藝進行處理（參見圖 10）㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂。圖 10 的結果展示了清潔法顯著降低了產品部件表面上的顆粒（粒徑范圍在 50 µm 至 600 µm 之間）數目①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯。
總結和結論
經過實踐證明⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，清潔度有助于通過檢驗多樣化產品或不同行業的產品部件⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺，從而提升產品質量♀☿☼☀☁☂☄。目前♀☿☼☀☁☂☄，清潔度分析在汽車制造業中扮演了重要角色ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ，該行業對部件清潔度分析設定了國際化標準⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ。本文對清潔度檢驗技術進行了探討⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺，使用涉及顆粒分析的定量方法可以確定清潔度水平ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ。可以采用直接法對部件表面進行檢測☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，該法無需提取顆粒物✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥；亦可采用間接法⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，從部件表面提取顆粒物㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，完成檢驗❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。
在本文中☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，僅討論了適用于清除微粒污染的間接檢驗過程❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。通常采用光學或電子顯微鏡技術進行顆粒評估㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦。本文的討論成果卓有成效ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，展示了使用光學顯微鏡的間接清潔度檢驗過程☾☽❄☃，實現顆粒分析㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦。通過間接過程可以檢驗產品清潔過程的效用（即此項清潔過程實現產品部件特定清潔度水平的能力）✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅。
德扑之星网页版入口·(中国)官方网站將充分發揮其10多年的研發能力及雄厚技術❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，不僅為中國的廣大生命科學儀器用戶大量提供各種以生物顯微鏡為首的高品質光學儀器⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，同時也為中國的廣大工業儀器用戶大量提供高品質的各種工業顯微鏡♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃，并且提供各種高質量的技術服務ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ。從提供*品質的奧林巴斯顯微鏡⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓、尼康顯微鏡ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ、徠卡顯微鏡（生物顯微鏡☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；、金相顯微鏡ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ、體視顯微鏡⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ、工具顯微鏡⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯、數碼顯微鏡ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ、熒光顯微鏡⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾、顯微成像系統⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺、顯微圖像分析軟件⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ、顯微鏡配件等等）❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，到為客戶度身定制顯微系統解決方案ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ，通過專業✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥、細致和全面的技術支持服務實現“為客戶創造更多價值”的承諾웃유ღ♋♂。